製品情報
その他
ウエハ移載機【SiC専用】
| 概要 | 3・4・6インチＳｉＣウエハを6・8インチ治具ウエハに移載する装置 |
|---|---|
| 対象ワーク | SiC3・4・6インチウエハ、6・8インチ治具ウエハ |
| 対象キャリア | 3・4・6・8インチウエハ用キャリア |
| 外観寸法 | W900mm×D900mm×H1700mm |
自動ガラス貼り合せ機
ガラス貼り合わせ機自動化【外段取り自動化】
プロトス移載機
SiCウエハ厚さ測定器用ステージ
| 概要 | 4インチSiCウエハ厚さ測定器用XYステージ |
|---|---|
| 対象ワーク | 4インチSiCウエハ |
| 外観寸法・重量 | W1000mm×D800mm×H1350mm 約600kg |
精度規格
| X軸ユニット（上軸） | 姿勢精度（ピッチング）：15秒／240ｍｍ 姿勢精度（ヨーイング）：10秒／240ｍｍ 位置決め精度：10μｍ／240ｍｍ 繰り返し位置決め精度：±0.5μｍ以下 |
|---|---|
| Y軸ユニット（下軸） | 姿勢精度（ピッチング）：15秒／240ｍｍ 姿勢精度（ヨーイング）：10秒／240ｍｍ 位置決め精度：10μｍ／240ｍｍ 繰り返し位置決め精度：±0.5μｍ以下 |
| 直角度 | X軸に対するY軸の直角度：±0.005ｍｍ／150ｍｍ |